API激光干涉儀在測量直線模組中的應用

發(fā)布時間：2025-08-08

直線電機也稱線性電機，線性馬達，直線馬達，推桿馬達，是一種新型電機，具有高加速、高減速、運動慣量小、高靈敏、系統(tǒng)剛性好、使用壽命長、安全可靠等優(yōu)點，與光柵尺配合可形成閉環(huán)控制系統(tǒng)�，F其應用日益廣泛，在計算機、自動化、精密直線位移的機械手等方面大有取代傳統(tǒng)電機之勢。磁懸浮列車上就是用直線電機來驅動的。

這種電機在生產過程中需要對其步長進行檢測和調整從而達到更高的精度指標，我們可以按照設定的運動步長控制直線電機運行，利用激光干涉測量每運行一個步長對應的定位誤差；根據定位誤差值建立誤差補償表，并對位置坐標進行修正，再利用修正值控制直線電機運行。

上圖既為利用API激光干涉儀測量直線模組的實例，API的激光干涉儀具有超高的精度，無需三腳架可快速安裝固定，干涉鏡組與主機集成一體，兩點對光，比同類的激光干涉儀測量速度快。API激光干涉儀一次調光測量，就可以測量出直線模組的定位精度，重復性，反向間隙，水平方向直線度，豎直方向直線度等幾何精度誤差。

上圖為線性誤差經過往返4次測量，最終得到的定位精度為0.0012mm，重復性為0.0006mm。不僅僅證明了直線電機的高精度，也驗證了激光干涉儀自身的超高精度和穩(wěn)定性。

API激光干涉儀測量線性軸直線度時，無需額外對光，無需更換光學鏡組，在測量線性誤差的同時即可得到雙向直線度誤差。這兩個方向的直線度誤差可直觀實時的顯示在電腦屏幕上，快捷方便且便于安裝人員調整。

另外，DD是directdriver的簡稱，即直接驅動馬達。API激光干涉儀在DD馬達的測量方面，為用戶提供了最簡單，最經濟的解決方案XD5LS激光干涉儀+多面體。多面體可根據客戶不同需求選擇12面、24面或36面棱體。其測量精度可達1角秒。

上圖為DD旋轉馬達經過往返5次測量，最終得到精度為7.9角秒，重復性為3.01角秒。實現了非常好的測量效果。

（來源：美國自動精密工程公司北京代表處）